碳化硅衬底项目建设和扩产拉动了上游设备的需求，其中切割设备受益颇深。

近日，2家切割设备企业公布了他们的成绩，并表示要扩产：

6月27日，据”烟台新闻网“消息，力凯数控最新研发的DA300碳化硅多线切割机已达成10台意向订单，预计销售额达3000万元。

(资料图)

据悉，DA300碳化硅多线切割机收放线轮运转速度可实现2400米/分钟，采用硅料向下进给方式，伺服同步控制线网进行高速切割，可实现8小时切割一刀，一次性产出100片晶片。

此外，该公司在今年还新上了8条金刚石线生产线项目，计划产值8000万元；明年将上线二期项目铺设40条产线，预计产值4亿元。

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近日，日本高鸟社长增田诚接受日媒采访时透露，他们已将SiC专用线锯技术商业化，并且已获得了连续大订单。

6英寸兼容的SiC专用多线锯

据悉，高鸟在今年2月开始全面生产6英寸SiC多线切割设备，并已收到连续订单；截至2月，该公司积压订单约为190亿日元（约9.55亿人民币），交付时间约为13-14个月，他们正在加紧缩短交付时间。

目前，高鸟计划每月产能至少为50台，并同步开发8英寸机型。预计今年内将8英寸机型商业化，切割精度将保持与6英寸机器相同的水平，进一步提升使用便利性。

为应对更多的订单需求，高鸟已与中国公司和日本本土公司签订了联盟协议，将在中国建立生产系统；此外，他们还在开发研磨设备并已完成一个原型，系统正处于测试阶段，期望能为SiC降本做出贡献。

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